快报:积塔半导体“半导体测试结构的制备方法”专利获授权
天眼查显示,上海积塔半导体有限公司近日取得一项名为“半导体测试结构
2026-02-24 13:47:19
来源:爱集微
(资料图)
天眼查显示,上海积塔半导体有限公司近日取得一项名为“半导体测试结构的制备方法”的专利,授权公告号为CN119361581B,授权公告日为2025年10月17日,申请日为2024年10月31日。
本申请涉及一种半导体测试结构的制备方法,包括:提供衬底;于衬底顶面形成沿第一方向间隔分布且沿第二方向延伸的多个掩膜条;至少以多个掩膜条为掩膜版,向初始测试区执行能量相同且剂量不同的离子注入工艺,得到包括两个掺杂区的目标测试结构;根据多个目标测试结构的注入离子剂量、扩散宽度及击穿电压,确定不同目标测试结构的注入离子剂量、扩散宽度及击穿电压之间的第一目标测试关联关系,根据待测目标测试结的实际注入剂量、实际击穿电压,确定待测目标测试结的实际扩散宽度。基于现有工艺流程,无需额外光罩。通过简单有效的目标测试结构,得到监测离子注入实际扩散宽度的目标测试关联关系,进而反映不同剂量条件下注入对器件性能的影响。
标签: 最新资讯
天眼查显示,上海积塔半导体有限公司近日取得一项名为“半导体测试结构
斯帕莱蒂:三后卫?鉴于最近的成绩,我们愿意牺牲一些想象力,我们愿意,
一、尚品宅配(300616)股票分红记录尚品宅配最新一次公布的分红方案:
概念库数据整理,截至2月18日,塑料股票市盈率排名前十依次是:齐翔腾
大禹节水(300021):龙头股2月13日消息,大禹节水下午3点收盘报4 620
NBA官宣扣篮大赛评委:魔兽霍华德领衔4大扣篮王第5位评委待定,nba,全明
据南方财富网概念查询工具数据显示,核聚变股票龙头股有:奥特迅:核聚
证券日报网讯2月12日,纵横股份在互动平台回答投资者提问时表示,2025
人民财讯2月12日电,胜宏科技2月12日在互动平台表示,公司1 6T光模块PC
南京“美育小院”里,让年味在邻里间流淌
新华社北京2月11日电(记者齐琪)记者2月11日从司法部获悉,为及时有效
本网讯(草原云·正北方网首席记者王树天)在2月10日举行的内蒙古“贯